Приведено описание системы поддержки жизненного цикла в производстве полупроводниковых пластин. Автоматизированная система сбора и визуализации технологических параметров используется для контроля и управления производством микросхем. Она разработана как совокупность двух подсистем – интерактивной экспертной системы с единой базой данных и подсистемы составления расписаний. Подсистема расписаний используется для маршрутизации лотов, а с помощью экспертной системы операторы контролируют технологию
производства. Эта система состоит из нескольких независимых программ, запускаемых в режиме реального времени и постоянно передающих их результаты в реляционную базу данных. Назначение программ может быть различным. В разработанной системе применяются программы визуализации данных, параметров технологических операций, управления качеством с помощью простых инструментов контроля качества. Гибкая интерактивная подсистема составления расписаний позволяет вносить изменения в последовательность технологических
операций и быстро отображать результаты, в то время как подсистема интерпретации данных более открыта для интеграции с новыми модулями и способна лучше классифицировать и диагностировать большие объемы информации с производства пластин. Система достаточно эффективно спроектирована благодаря тому, что в интегрированную производственную среду включается взаимодействие с пользователем, алгоритмическая обработка данных, представление знаний, пояснение возможностей и высокоскоростной доступ к системе.
The description of system of support of lifecycle in production of semiconductor plates is provided. The automated system of collection and visualization of technological parameters is used for control and production management of chips. It is developed as set of two subsystems – interactive expert system with the single database and subsystems of creation of schedules. The subsystem of
schedules is used for routing of lots, and by means of expert system operators control the production technology. This system consists of several independent programs started in real time and which are
constantly transmitting their results to the relational database. Purpose of programs can be various. In developed system programs of visualization of data, parameters of technological transactions,
quality managements by means of simple instruments of quality control are applied. The flexible interactive subsystem of creation of schedules allows to make changes to the sequence of technological
transactions and to quickly display results while the subsystem of interpretation of data is more open for integration into new modules and is capable to classify and diagnose better large volumes
of information from production of plates. The system is rather effectively designed thanks to the fact that the integrated production environment joins interaction with the user, algorithmic data processing,
representation of knowledge, the explanation of opportunities and high-speed access to system.
