Аннотации:
В работе изложены основные сведения по теории эллипсометрии, необходимые для первого знакомства с методом. Сформулированы общие принципы и подходы, применяемые в эллипсометрических исследованиях. Рассмотрены различные оптические модели, наиболее часто используемые при интерпретации результатов измерений, и математические выражения для расчёта эллипсометрических параметров. Сформулирована в общей постановке обратная задача эллипсометрии для слоистых или оптически неоднородных структур. Рассмотрены способы её решения и сопутствующие этому проблемы. Отдельный раздел посвящён методам измерения эллипсометрических параметров и производимой эллипсометрической аппаратуре. Основной упор при этом сделан на модели эллипсометров, разработанных и производимых в ИФП СО РАН. Пособие сопровождается подробным описанием двух лабораторных работ, выполнение которых позволит глубже усвоить метод, понять его возможности применительно к исследованию, в первую очередь, полупроводниковых материалов и структур.
Предлагаемое пособие предназначено для студентов старших курсов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области физики, химии, биологии.
