В работе рассмотрены особенности применения методов LIGA-технологии при создании квазиоптических фильтров субтерагерцового диапазона на основе самонесущих микроструктур металлического и псевдометаллического типов. С учетом этих особенностей в Сибирском центре синхротронного и терагерцового излучений (СЦСТИ, ИЯФ СО РАН) изготовлены низко- и высокоаспектные индуктивные микроструктуры с топологией дипольных щелей, которые послужили селективными элементами в полосовых пропускающих фильтрах для интервала частот 0,25–0,45 ТГц. С использованием техники ЛОВ-спектроскопии проведена характеризация частотно- селективных свойств изготовленных фильтров. Показано хорошее согласие полученных экспериментальных данных с результатами численного моделирования.
We discuss the peculiar features of the LIGA-technology methods elaborated in the Siberian Synchrotron and Terahertz Radiation Centre (SSTRC, BINP SB RAS) and applied for producing quasi-optical subterahertz filters based on self-bearing microstructures of the metallic and pseudo-metallic types. The results of manufacturing the low- and high aspect inductive microstructures with topology of dipole slots utilized as the selective elements in the band-pass filters for the frequency range 0,25–0,45 THz are presented. The details of spectral characterization of the developed filters using a BWO-spectroscopy technique are considered. A good agreement between the results of measurements and numerical simulations is demonstrated.
